Instrumentación

 

Reconstrucción 3D de la sagita de una superficie en rotación

 

V.I. Moreno Oliva ^a, C.I. Robledo Sánchez ^a, A. Cordero Dávila ^a, P. Nanco Hernández ^a y A. Jaramillo Núñez ^b

 

^a Facultad De Ciencias Físico Matemáticas, Benemérita Universidad Autónoma de Puebla, Apartado Postal 1152, Puebla, Pue., México, e-mail: vmoreno@fcfm.buap.mx, crobledo@fcfm.buap.mx, acordero@fcfm.buap.mx, pnanco@fcfm.buap.mx

^b Instituto Nacional de Astrofísica Óptica y Electrónica Apartado Postal 51 y 216, Puebla, Pue., México, 72000, e-mail: ajaramil@inaoep.mx

 

Recibido el 4 de julio de 2005.
Aceptado el 5 de octubre de 2005.

 

Resumen

Se describe un instrumento de contacto óptico para reconstruir en 3D la sagita de superficies no reflectoras tanto cóncavas como convexas. El instrumento mide la sagita proyectando la imagen de una rendija sobre la superficie a evaluar. Para obtener la sagita en 3D el instrumento se traslada en la dirección X y la superficie de prueba gira a una velocidad angular constante. Se alcanza una resolución de hasta 2.5μm en Z y 1μm en X .

Descriptores: Metrología; perfilometría.

 

Abstract

An instrument of optical contact is described to obtain the values of zagita in 3D of concave and convex nonreflecting surfaces. The system measure the zagita imaging a thin variable slit over the surface test. To obtain 3D information the instrument is translated in X direction and the surface test is rotated a constant angular velocity. With this system is reached a resolution of 2.5μm in Z and 1μm in X.

Keywords: Metrology; profilometry.

 

PACS: 42.79.-e; 06.20.-f

 

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Agradecimientos 

V.I. Moreno Oliva agradece al Consejo Nacional de Ciencia y Tecnología (CONACYT) por el apoyo económico a través de una beca de doctorado y a Ana María Zárate Rivera por su colaboración en la elaboración del presente manuscrito.

 

Referencias

1. Y. Wang, Opt. Eng., 42 (2003) 3013.         [ Links ]

2. J. Tay, C. Quan, T. Wu y Y. Huang, Opt. Eng. 43 (2004) 1152.         [ Links ]

3. X. Su, W. Song, Y. Caoy L. Xiang, Opt. Eng. 43 (2004) 708.         [ Links ]

4. L. Jin, Y. Otani y T. Yushizawa, Opt. Eng. 40 (2001) 1383.         [ Links ]

5. B. García, M. Cywiak y M. Servín, Opt. Eng. 42 (2003) 3004.         [ Links ]

6. S. Chu y M Butler, J. Opt. Soc. Am. 24 (1999) 457.         [ Links ]

7. J. Liu y I. Yamaguchi, Appl. Opt. 39 (2000) 104.         [ Links ]

8. C. Robledo y V. Moreno, Análisis de superficies no reflectoras basado en topografía moiré, Tesis de maestría. Facultad de Ciencias Físico Matemáticas, BUAP (2003).         [ Links ]

9. J. Zhong, Opt. Eng. 40 (2001) 1377.         [ Links ]