SciELO - Scientific Electronic Library Online

 
vol.51 issue1Optical properties of paper at 337.1nm author indexsubject indexsearch form
Home Pagealphabetic serial listing  

Services on Demand

Journal

Article

Indicators

Related links

  • Have no similar articlesSimilars in SciELO

Share


Revista mexicana de física

Print version ISSN 0035-001X

Rev. mex. fis. vol.51 n.1 México Feb. 2005

 

Instrumentación

 

Calibración de un interferómetro fizeau: cálculo de incertidumbres

 

J. García-Márquez, N. Alcalá, M. Montoya, C. Pérez, M. Gutiérrez y J. Moya

 

Centro de Investigaciones en Óptica A.C. Loma del Bosque 115, Col. Lomas del Campestre, C. P. 37150, León, Gto. México

 

Recibido el 11 de junio de 2004;
aceptado el 28 de septiembre de 2004

 

Resumen

Se presenta un estudio relativo a la calibración de un interferómetro tipo Fizeau para obtener su acreditación como instrumento de medición de planicidad. El interferómetro será utilizado para la medición y calibración de planos ópticos de hasta 15 cm de diámetro. Se muestra que la contribución a la incertidumbre, tanto del interferómetro como del método de medición, es pequeña comparada a la contribución debida a los planos utilizados en la calibración.

Descriptores: Interferometría; medición de planicidad; cálculo de incertidumbres.

 

Abstract

A study on the calibration of Fizeau interferometer in order to obtain its accreditation as a flatness measuring instrument is presented. The interferometer will be used for measuring and calibrating optical flats with a maximum aperture diameter of 15 cm. It is shown here that the uncertainty contribution due to both, the interferometer and the measuring method employed is small as compared to the optical flats used in the calibration procedure.

Keywords: Interferometry; flatness determination; uncertainty calculation.

 

PACS: 06.30Bp; 06.60.Mr; 06.20.Fn; 07.60.Ly; 42.87.Bg

 

DESCARGAR ARTÍCULO EN FORMATO PDF

 

References

1. K.-E. Elssner, A. Vogel, J. Grazna y G. Schulz, Appl. Opt. 33 (1994) 2437.         [ Links ]

2. C.J. Evans y R.N. Kestner, Appl. Opt. 35 (1996) 1015.         [ Links ]

3. C.J. Evans, Opt. Eng. 37 (1998) 1880.         [ Links ]

4. Ph.S. Fairman et al., Opt. Eng. 39 (1999) 1371.         [ Links ]

5. V. Greco, R. Tronconi, C. Del Vecchio, M. Trivi y G. Molesini, Appl. Opt. 38 (1999) 2018.         [ Links ]

6. P. Hariharan, Opt. Eng. 36 (1997) 2478.         [ Links ]

7. B.F. Oreb et al., SPIE 3744 (1999) 18.         [ Links ]

8. B.F. Oreb, D.I. Farrant, C.J. Walsh, G. Forbes y Ph.S. Fairman, Appl. Opt. 39 (2000) 5161.         [ Links ]

9. Ph. Stahl y J.A. Tome, Proc. SPIE 954 (1988) 78.         [ Links ]

10. I. Powell y E. Goulet, Appl. Opt. 37, 2579-2588 (1998).         [ Links ]

11 . Japanese Industry Standard, Optical Flats JIS B 7430 (1977) 898.         [ Links ]

12. Japanese Industry Standard, Instruments for the measurement of Surface Roughness by Interferometric Method, JIS B 0652 (1973) 893.         [ Links ]

13. D. Malacara, Optical Shop Testing (John Wiley and Sons, New York, 1992).         [ Links ]

14. Y. Surrel, "Fringe Analysis, in Photomechanics", P.K. Rastogi, ed., (Springer Verlag, Berlin/Heidelberg, 1999) p. 57.         [ Links ]

15. D. Malacara, M. Servin y Z. Malacara, Interferogram Analysis for Optical Testing, 1st edition (Marcel Dekker, Inc., New York, 1998) 169.         [ Links ]

16. Stabilized Helium-Neon Laser, model 117a, Instruction Manual, Spectra-Physics International, Mountain View, CA        [ Links ]

17. A-meterLRL-005 Technical Manual, version 3.04, Cluster LTD (www.cluster.orc.ru), Moscú (2000).         [ Links ]

18. C. Perruchet, et M. Priel, Estimer l'Incertitude: Mesures-Essais (AFNOR, Paris, 2000);         [ Links ] D.C. Baird, Experimentation: An Introduction to Measurement Theory and Experiment Design, 3ra edición (Prentice-Hall, New Jersey, 1995) (Es interesante como introducció         [ Links ]n a la teoría de las mediciones a pesar de no haber incluido algunos conceptos en uso como la reproducibilidad y la repetibilidad).

19. F. Peste Sandoval y J. Mendoza Illescas, "Vocabulario Internacional de Términos Fundamentales y Generales de Metrología", (Publicación tecnica CNM-MMM-PT-001, CENAM, Querétaro, 2000)        [ Links ]

20. J. Goodman, Statistical Optics (John Wiley and Sons, New York, 1985) 63.         [ Links ]

21. J.-C. Courtier, P. Giacomo, C. Ranson, B. Taylor y C. Kouyatt, Guide Pour l'Expression de l'Incertitude de Mesure, (BIPM, 1er. Edition, Paris, 1995);         [ Links ] Wolfgang Schmid y Ruben Lazos Martínez, "Gúía para estimar la incertidumbre de medición" Centro Nacional de Metrología, http://www.cenam.mx, México, (2000).         [ Links ]

22. G. Schulz, and J. Schwider, Progress in Optics, ed. E. Wolf, XIII (1976) 95.         [ Links ]

23. National Physical Laboratory, "Certificate of Calibration: 150 mm WYKO Reference flat" Ref: LR0101/04020b/GEN13-131 (9 June 2004);         [ Links ] National Physical Laboratory, "Certificate of Calibration: 150 mm WYKO Transmission flat" Ref: LR0101/04020a/GEN13-131 (9 June 2004)        [ Links ]

24. J. García Márquez y C. Pérez Santos "Procedimiento para calibración de superficies planas", Manual de procedimientos, Laboratorio de Pruebas Ópticas, DVDT, CIO, (2004).         [ Links ]

25. El frente de onda es por notation W, en metrología se reserva la mayúscula para la expresión del mensurando, mismo que representamos aquí por W.

26. Correspondencia personal con Bodzenko Oreb (CSIRO, Australia), Robert Polvani (NIST, EE. UU.), David Putland (NPL, Inglaterra), y Georges Vailleau (LNE, Francia).

De cinco laboratorios internacionales de metrología, sabemos que el NIST (National Institute of Standards and Technology) ofrece una calibración basada en una norma cuyos resultados de medición se centran en los coeficientes de aberración de Zernike y no en P-V o RMS. El CSIRO (Commonwealth Scientific and Industrial Research organisation) no ha acreditado aún ninguno de sus dos interferómetros, el LIGO [8] y el Wyko 6000 y que el LNE (Laboratoire National d'Essais) no ofrece calibraciones de planos ópticos. Por tanto ninguno de esos laboratorios puede calibrar, con trazabilidad, al patrón materializado de longitud, un plano (óptico según nuestras necesidades. Sin embargo tanto el NPL (National Physical Laboratory) como el PTB (Physikalisch-Technische Bundesanstalt) ofrecen trazabilidad al patrón primario de longitud.

Creative Commons License All the contents of this journal, except where otherwise noted, is licensed under a Creative Commons Attribution License