Abstract

KUSSUL, E. et al. CNC machine tools for low cost micro devices manufacturing. J. appl. res. technol [online]. 2004, vol.2, n.1, pp.76-91. ISSN 2448-6736.

En este trabajo se presenta una nueva tecnología para la producción de dispositivos micromecánicos de bajo costo, dentro del contexto de desarrollo de microfábricas. Ésta tecnología propone producir una serie de generaciones de equipo cada vez de menor tamaño, basándose en los conceptos ya conocidos de la mecánica convencional. Se describe también la necesidad de adaptar cada generación de equipo a los cambios de comportamiento físico originados por el decremento de escala. Los principales requerimientos para el desarrollo de microequipo son discutidos y unas micromáquinas herramientas pertenecientes a la primera generación de microequipo, desarrolladas en el Laboratorio de Micromecánica y Mecatrónica del Centro de Ciencias Aplicadas y Desarrollo Tecnológico, UNAM, son descritas y probadas. El diseño y fabricación de un microfiltro es utilizado como un ejemplo de la aplicación práctica.

Keywords : Micromachine tool; Microfilters; Accuracy.

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