Abstract

SALAZAR-MIRANDA, D. et al. Modulación del índice de refracción de guías de onda ópticas de polímero SU-8 por medio de un proceso hibrido fototérmico. Rev. Mex. Ing. Quím [online]. 2010, vol.9, n.1, pp.85-90. ISSN 1665-2738.

Este trabajo describe la fabricación y caracterización de gulas de onda ópticas multimodales obtenidas a partir del polímero SU-8-2005 mediante un proceso de microlitografía. Presentamos información importante acerca de la modulación del índice de refracción en las guías de onda ópticas en función de los tiempos de pre- horneado e irradiación con luz ultravioleta. Las propiedades físicas de las guías de onda son determinadas usando la técnica de acoplamiento de prisma, microscopia óptica y microscopia electrónica de barrido.

Keywords : guías de onda; polímeros; fotolitografía; modulación; índice de refracción.

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