Abstract

RAMIREZ-FERNANDEZ, F.J.; SALCEDO, W.J.  and  PEIXOTO, N.. Integrated sensors and microsystems. Rev. mex. fis. [online]. 2006, vol.52, suppl.2, pp.104-107. ISSN 0035-001X.

Este trabajo presenta una breve revisión y algunos resultados significativos relacionados al desarrollo de sensores integrados y microsistemas que incluyen, mas que no se limitan a uma Matriz de microelectrodos para aplicaciones biológicas en el estudio de cultura de células y aplicaciones del silicio poroso como sensores de gas. La Matriz de microelectrodos permite el acceso eléctrico a la cultura de neuronas para registrar las señales de respuesta a estímulos electricos, mostrando que el límite de inyección puede ser disminuido a menos que 100 nC/cm². Los sensores de gas fabricados con silicio poroso son investigados por medio de las variaciones de las propiedades ópticas relacionadas a la concentración y especie de gas.

Keywords : Sensores integrados; microsistemas; silicio poroso.

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