Abstract

CASTILLO, N.; OLGUIN, D.; CONDE-GALLARDO, A.  and  JIMENEZ-SANDOVAL, S.. Structural and morphological properties of TiO₂thin films prepared by spray pyrolysis. Rev. mex. fis. [online]. 2004, vol.50, n.4, pp.382-387. ISSN 0035-001X.

En el presente trabajo la técnica de rocío pirolítico fue empleada para producir películas delgadas de TiO₂ sobre substratos de cuarzo y silicio cristalino (Si). Generado por ultrasonido, un aerosol de di-isopropoxido de titanio fue usado como precursor en los depósitos. El proceso de cristalización como función de los parámetros de depósito fue estudiado por difracción de rayos-X (XRD), espectroscopía Rama (RS), microscopia de fuerza atómica (AFM) y espectroscopía óptica de transmision (TS). Los resultados demuestran que la técnica de rocío pirolítico puede producir películas con superficies planas y buenas propiedades cristalinas. Cuando la temperatura de depósito es menor a 400° C, la película crece con una superficie suave (rugosidad~5Å) pero en una fase amorfa; sin embargo a temperaturas iguales a 400° C o mayores las películas cristalizan en la fase anatasa aun cuando la rugosidad se incrementa hasta un valor que depende del espesor. Después de un tratamiento térmico a 750°C, las muestras depositadas sobre Si muestran una transición parcial a la fase rutilio del TiO₂con orientación preferencial (111); sin embargo, las películas depositadas sobre cuarzo no muestran tal transición.

Keywords : Depósito en fase vapor; rocío pirolítico; películas de TiO₂.

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