Abstract

HERRERA, M. et al. Multitarget system for growth of thin films by pulsed laser deposition. Rev. mex. fis. [online]. 2002, vol.48, n.1, pp.61-66. ISSN 0035-001X.

En este trabajo se presenta el diseño, construcción y evaluación de un sistema de crecimiento de películas delgadas de capas múltiples usando el depósito por láser pulsado. El sistema está equipado con mecanismos de blancos y substratos múltiples que son manipulados desde el exterior de la cámara. El primero sirve para cambiar el material (blanco) que se va a depositar sin alterar el vacío interno de la cámara. Éste tiene capacidad para cuatro blancos y permite la rotación de uno de ellos sobre su propio eje para ser irradiado por el láser, obteniéndose uniformidad en el crecimiento. El segundo sirve para cambiar los substratos sin abrir la cámara, mediante un mecanismo que permite ubicar desde fuera de la cámara, sin perder vacío, el substrato que va ser utilizado. Este mecanismo se acopla a un calentador de substratos que puede operar hasta 600°C. Ambos mecanismos son montados en bridas de 6 pulgadas tipo ConFlat y pueden ser utilizados en cámaras de alto o ultra alto vacío. La cámara de trabajo es evacuada por un sistema con una bomba de difusión de aceite. Se utiliza un laser infrarrojo de Nd:YAG (Neodymium Yttrium Aluminum Garnet) con una longitud de onda de 1064 nm y 25 Wcm²/pulso. El sistema es evaluado mediante el crecimiento de estructuras de CdTe-CdS sobre vidrio conductor (TCO): TCO/CdS, TCO/CdTe y TCO/CdS/CdTe, utilizadas para celdas solares. Estas estructuras son caracterizadas por difracción de rayos X rasantes.

Keywords : Depósito por laser pulsado; películas de CdS; análisis de rayos X.

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