Abstract

ALCALA OCHOA, N; MENDIOLA, G  and  LANDGRAVE, J.E.A.. Flatness measurement using a grazing incidence interferometer. Rev. mex. fis. [online]. 2007, vol.53, n.1, pp.66-71. ISSN 0035-001X.

El propósito de este trabajo es el de reportar resultados de medición de planicidad usando un interferómetro de incidencia oblicua. Se muestra que este interferómetro proporciona la exactitud necesaria para medir la planicidad de herramientas de pulido y superficies rugosas. Con el propósito de evaluar las irregularidades de la superficie bajo prueba, el interferograma obtenido se analiza con técnicas de procesamiento digital de imágenes basadas en métodos de Fourier. Encontramos experimentalmente que la superficie completa se puede medir con errores menores a ~ 0.6 μm, o ~ λ_eqv/6, donde λ_eqv = 3.6441 μm es la longitud de onda equivalente del interferómetro.

Keywords : Pruebas ópticas; intereferometría; análisis de franjas; aplicaciones de láseres.

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