Abstract

AVILA GARCIA, Alejandro  and  REYES BARRANCA, Mario Alfredo. Computerized DLTS system to characterize deep levels in semiconductors. Rev. mex. fis. [online]. 2002, vol.48, n.6, pp.539-547. ISSN 0035-001X.

Se construyó un sistema computarizado para caracterizar niveles profundos en semiconductores. Se basa en la bien conocida técnica DLTS (Espectroscopa de Transitorios de Niveles Profundos), pero se obtiene gran versatilidad en el manejo de los datos porque usa una tarjeta de conversión analógico-digital (A/D) para digitalizar transitorios de capacitancia. Estos transitorios son analizados para obtener información de las trampas dentro del semiconductor. Una computadora personal controla la adquisición, almacenamiento, análisis y presentación de los resultados de los datos. Se desarrolló un programa en lenguaje Basic para alcanzar todos estos objetivos. Además de su versatilidad, el sistema es capaz de obtener los parámetros deseados con solo un barrido en temperatura, lo cual es una ventaja importante en relación con el tiempo necesario experimentalmente para realizar la medición. Para ilustrar su funcionamiento, se muestran los resultados obtenidos para una estructura de potencia de silicio tipo PIN.

Keywords : DLTS; computarizado; caracterización.

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