FUNDORA, A; MARTINEZ, E; BLANCO, O    SIQUEIROS, J.M. Structural properties of Pb(Mg_1/3Nb_2/3)_0.90Ti_0.10O₃ films deposited by pulsed laser ablation on titanium nitride substrates. []. , 54, 1, pp.42-48. ISSN 0035-001X.

^len^aPulsed laser ablation is used to deposit Pb(Mg_1/3Nb_2/3)_0.90Ti_0.10O₃ (PMNT) polycrystalline thin films on TiN bottom electrodes, which in turn are prepared by DC sputtering on Si wafers. The PMNT perovskite phase formation is confirmed by x-ray diffraction analysis. The morphology of the films is analyzed by scanning electron microscopy. The nature of the ferroelectric layer-electrode interface is studied by transmission electron microscopy. The effect of the characteristics of the interface in the performance of the multilayer system is also studied. The characteristics of the TiN films, used as electrodes, are evaluated using Auger electron spectroscopy and x-ray photoelectron spectroscopy. Finally, a model for the PMNT/TiN/SiO₂/Si film system thus obtained is proposed.^les^aSe depositan películas policristalinas de Pb(Mg_1/3Nb_2/3)_0.90Ti_0.10O₃ (PMNT) por la técnica de ablación por láser pulsado sobre electrodos de TiN que, a su vez, son crecidas por erosión iónica en DC sobre sustratos de Si. La formación de la fase perovskita del PMNT es confirmada por análisis de difracción de rayos X. La morfología de las películas es analizada por microscopía electrónica de barrido. La naturaleza de la interfaz entre la capa ferroeléctrica y el electrodo es estudiada por microscopía electrónica de transmisión. Así mismo, se estudian los efectos de las propiedades de dicha interfaz en el desempeño del sistema de multicapas. Las características de las películas de TiN, usadas como electrodos, son evaluadas mediante espectroscopía de electrones Auger y espectroscopia de fotoelectrones de rayos X. Finalmente, se propone un modelo para el sistema PMNT/TiN/SiO₂/Si de películas delgadas aquí descrito.

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