Propiedades eléctricas, ópticas y estructurales de películas delgadas de SnO2 nanoestructuradas, depositadas a partir de acetilacetonatos
R. Vázquez Arreguínª, M.A. Aguilar Frutisª, J. Guzman Mendozaª, M. García Hipólitob, R. Fragoso–Sorianoc , C. Falcony Guajardoc
a Centro de Investigación en Ciencia Aplicada y Tecnología Avanzada del Instituto Politécnico Nacional, Legaria 694. Colonia Irrigación, México, D.F., 11500, México.
b Instituto de Investigación en Materiales, Universidad Nacional Autónoma de México, Apartado Postal 60–360, Coyoacán, México, D.F., 04510, México.
c Centro de Investigación y de Estudios Avanzados del Instituto Politécnico Nacional, Apartado Postal 14–740, México, D.F., 07000, México, e–mail: ksouze@prodigy.net.mx
]]> Recibido el 18 de octubre de 2010
Resumen
Películas delgadas de oxido de estaño (S11O2). Fueron depositadas mediante la técnica de rocío pirolítico ultrasonico. Las películas se depositaron sobre substratos de vidrio empleando dicloruro de acetilacetonato de estaño [(C5H8O2)2SnCl2] como material fuente y N, N–DMF como solvente, a temperaturas de 400 a 550° C. Se presentan las propiedades ópticas, eléctricas y estructurales de las películas obtenidas utilizando un precursor organometálico.
Descriptores: Películas delgadas; películas conductoras transparentes; procesos pirolíticos.
Abstract
Tin oxide (SnO2) thin films, were deposited using ultrasonic spray pyrolysis technique. The films were deposited on glass substrates using tin acetylacetone dichloride [(C5H8O2)2SnCl2], as raw material, and, N, N–DMF as solvent, at temperatures from 400 to 550°C. The optical, electric and structural properties of thin films obtained using an organometalic precursor are presented.
Keywords: Thin films; transparent conductor layer.
]]>PACS:78.20.–e;81.40.Tv
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Agradecimientos
Los autores desean agradecer al Conacyt por financiamiento de proyecto # 129227, a la SIP–IPN por proyecto 20101556 y a la Q. Marcela Guerrero su ayuda en la obtención de los patrones de difracción de rayos X.
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