Salvador Alcántara I.*a, B Susana Soto C a, L. Antonio Ortega J.a, Ruth L. Cabañas T.b, S. Jesús Pérez R.c y Gregorio Flores C.d
a Facultad Ing. Química BUAP
b Centro de Investigaciones en Semiconductores ICUAP
c CCADT UNAM
d Facultad de Ciencias de la Electrónica
Recibido: 27 de diciembre de 2007; ]]> Aceptado: 21 de noviembre de 2008
Resumen
El depósito de películas de ZnO con Spray Pirolisis es de mucho interés por la cantidad de aplicaciones de este material y por la simplicidad de la técnica mencionada. El uso del humidificador ultrasónico en lugar del spray neumático, permite obtener películas con mayor control y calidad. A las películas de ZnO obtenidas con esta técnica se les encontró efecto piezoeléctrico; en este trabajo se describe la técnica del depósito, la forma en que se compruebo el efecto piezoeléctrico y se presentan algunos de los resultados de estas películas de ZnO obtenidas por Spray Pirolisis Ultrasónico. El propósito de estas películas es para su aplicación en la excitación y detección de micro trampolines (cantilevers) o diafragmas micromaquinados.
Palabras calve: ZnO, Spray pirolisis ultrasonico, Piezoelectrico, Humidificador ultrasonico.
Abstract
Deposited ZnO by spray pyrolysis, is very interesting due to the large number of applications and simplicity of the technique. By using the ultrasonic humidifier instead of pneumatic spray, it is possibe to produce a films with a better quality and control. On the films ZnO obteined, we found piezoelectric effect; this paper describes this technique and how are founded this effect and some of the results. The purpose of these films are for actuator and detection of micromachining cantilever or diphragm application.
Keywords: ZnO, Ultrasonic spray pyrolysis, Piezoelectric, Ultrasonic humidifier.
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