Integrated sensors and microsystems
F.J. Ramirez–Fernández, W.J. Salcedo, and N. Peixoto
Laboratório de Microeletrônica, Escola Politécnica – Universidade de São Paulo, 05508–900 São Paulo, Brazil.
Articulo invitado
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This work presents a brief review and some significant results about integrated sensors and microsystems such as microelectrode array (MEA) for biological cell culture studies and gas sensors based on nanostructured materials such as porous silicon (PS). Developed MEA provides electrical access to biological neuron culture for signal recording and stimulation showing that the charge injection limit can be lowered to less than 100 nC/cm2. The gas sensors based on PS material are investigated using the changes in optical material properties as a function of gas species and concentrations.
Keywords: Integrated sensors; microsystems; porous silicon.
Resumen
Este trabajo presenta una breve revisión y algunos resultados significativos relacionados al desarrollo de sensores integrados y microsistemas que incluyen, mas que no se limitan a uma Matriz de microelectrodos para aplicaciones biológicas en el estudio de cultura de células y aplicaciones del silicio poroso como sensores de gas. La Matriz de microelectrodos permite el acceso eléctrico a la cultura de neuronas para registrar las señales de respuesta a estímulos electricos, mostrando que el límite de inyección puede ser disminuido a menos que 100 nC/cm2. Los sensores de gas fabricados con silicio poroso son investigados por medio de las variaciones de las propiedades ópticas relacionadas a la concentración y especie de gas.
Descriptores: Sensores integrados; microsistemas; silicio poroso.
PACS: 07.07.Df
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