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Superficies y vacío
Print version ISSN 1665-3521

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SANCHEZ-FRAGA, R. et al. Diseño de un dispositivo sensor de masa tipo MEMS basado en microvigas en voladizo de polisilicio. Superf. vacío [online]. 2014, vol.27, n.2, pp.61-65. ISSN 1665-3521.


 


 

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