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Revista mexicana de física
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ALVAREZ-MACIAS, C. and REYES-BETANZO, C.. Procesos de grabado seco de silicio monocristalino con alta velocidad de grabado y anisotropía para su aplicación en la fabricación de MEMS. Rev. mex. fis. [online]. 2007, vol.53, n.6, pp.488-494. ISSN 0035-001X.

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