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Revista mexicana de física
versão impressa ISSN 0035-001X
Rev. mex. fis. vol.51 no.6 México Dez. 2005
Investigación
Diseño de una superficie cónica en silicio cristalino
A.G. Rojas H., F. Renero C., W. Calleja A., R. Pérez R.,O. Totolhua P. y F. Gracia T.
Instituto Nacional de Astrofísica Óptica y Electrónica, Apartado postal 51 y 216, 72000 Puebla, Méx, e-mail: agrojas@inaoep.mx, paco@inaoep.mx, wcalleja@inaoep.mx, raperez@inaoep.mx, ototolhua@inaoep.mx, temich@inaoep.mx.
Recibido el 4 de mayo de 2005.
Aceptado el 5 de octubre de 2005.
Resumen
Presentamos el diseño de fabricación de una superficie cónica con k = 6.5. En un sustrato de silicio monocristalino, tomando como base la técnica de grabado anisotrópico con KOH. La superficie cónica es aproximada mediante ventanas esféricas. Comparaciones entre diámetro y separación de las ventanas esféricas, así como los parámetros que rigen la elección son discutidos.
Descriptores: Dispositivos optoelectrónicos; micromaquinado en microelectrónica; espejos ópticos.
Abstract
A fabrication design of a conic surface (k = 6.5), in monocrystalline silicon substrate and based on anisotropic etching with KOH, is presented. The conical surface is approximated by means of spherical windows; comparisons between diameter and separation of the spherical windows, as well as the parameters that govern the selection are discussed.
Keywords: Optoelectronic devices; micromachining in microelectronics; optical mirrors.
PACS: 85.60.q; 85.40.Hp; 42.79.Bh
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Agradecimientos
Este trabajo fue realizado mediante el proyecto CONACyT 34139A. Armando Gregorio Rojas Hernández (becario de Conacyt), agradece el apoyo económico a CONACyT por medio de Beca-Crédito 136575. Los autores agradecen a Ana María Zarate, Gabriela Molar Velázquez y Edgar Méndez Martínez por sus comentarios y sugerencias; y al INAOE por facilitar sus instalaciones e infraestructura.
Referencias
1. C. Paterson y J.C. Dainty, Optical Letters, 25 (2000) 1687. [ Links ]
2. D. Nikolov, K. Goto, Y.J. Kim y V.I. Kavardjikov, Nanotechnology, 13 (2000) 471. [ Links ]
3. H.P. Herzig, Micro-Optics: Elements, systems and applications, (London, Taylor & Francis, 1998). [ Links ]
4. D.L. Kendall, W.P. Eaton y R. Manginell, Optical Enginering, 33 (1994) 3578. [ Links ]
5. K.E. Bean, IEEE Transactions on Electron Devices, 25 (1978) 1185. [ Links ]
6. D.L. Kendall, G.R. de Guel y S. Guel-Sandoval, Appl. Phys. Lett, 836 (1988) 1185. [ Links ]
7. D.A. Fletcher et-al., J. of Microelectromechanical systems, 10 (2001) 450. [ Links ]
8. D. Malacara, Optical shop testing, (Edi. John Wiley and Sons, 1978). [ Links ]
9. D.C. O'shea., Elements of Modern Optical Design, (John Wiley & Sons, NY, 1985). [ Links ]
10. D.W. de Lima Monteiro et al., Optics Express. [ Links ]
11 . Rai-Choudhury, Handbook of Microlithography, Micromachining, y Microfabrication, (Copublished by SPIE, 1997). [ Links ]