Resumen

REYES-BARRANCA, M. Alfredo; GONZALEZ-VIDAL, J.L  y  TAVIRA-FUENTES, A. Thermal model for a microhot plate used in a MEM gas sensor. Rev. mex. fís. E [online]. 2008, vol.54, n.1, pp.15-24. ISSN 1870-3542.

En este trabajo se presenta un modelo analítico térmico para un microsensor de gas MEM y, además se compara con un modelo de circuito eléctrico equivalente, con el objetivo de estudiar el comportamiento térmico de una micro placa caliente de una estructura MEM utilizada en el sensado de gases. Por lo anterior, es posible determinar la magnitud de la corriente eléctrica que debe ser aplicada a un micro calefactor de polisilicio, considerando sus dimensiones y los materiales utilizados; por ejemplo, cuando la estructura del sensor es fabricada con tecnología MEMS, la cual es compatible con la fabricación de circuitos integrados CMOS. Los resultados mostrados son el tiempo de respuesta y nivel de temperatura como función de la temperatura corriente aplicada. El modelo presentado puede ser aplicado como base para el diseño de micro placas calientes usadas en sensores de gases, donde se necesitan temperaturas en el orden de los 300°C, dichos sensores de gas seran integrados monolíticamente con su electrónica asociada correspondiente, considerando un consumo de potencia mínima

Palabras llave : MEMS; microplaca caliente; conductividad térmica; respuesta electrotérmica.

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