Resumo

ALCANTARA I., Salvador et al. Películas de ZnO piezoeléctricas depositadas por Spray Pirolisis US. Superf. vacío [online]. 2008, vol.21, n.4, pp.6-9. ISSN 1665-3521.

El depósito de películas de ZnO con Spray Pirolisis es de mucho interés por la cantidad de aplicaciones de este material y por la simplicidad de la técnica mencionada. El uso del humidificador ultrasónico en lugar del spray neumático, permite obtener películas con mayor control y calidad. A las películas de ZnO obtenidas con esta técnica se les encontró efecto piezoeléctrico; en este trabajo se describe la técnica del depósito, la forma en que se compruebo el efecto piezoeléctrico y se presentan algunos de los resultados de estas películas de ZnO obtenidas por Spray Pirolisis Ultrasónico. El propósito de estas películas es para su aplicación en la excitación y detección de micro trampolines (cantilevers) o diafragmas micromaquinados.

Palavras-chave : ZnO; Spray pirolisis ultrasonico; Piezoelectrico; Humidificador ultrasonico.

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