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Revista mexicana de ingeniería química

versão impressa ISSN 1665-2738

Resumo

OLIVA, A.I.; MARTIN-VARGUEZ, P.E.; GONZALEZ-PANZO, I.J.  e  GONZALEZ-CHAN, I.J.. Papel del diagrama de distribución de especies en el depósito de capas delgadas semiconductoras por baño químico. Rev. Mex. Ing. Quím [online]. 2016, vol.15, n.1, pp.209-220. ISSN 1665-2738.

En este trabajo se describe la metodología para obtener el diagrama de distribución de especies para depositar películas delgadas por la técnica de baño químico en forma controlada. El diagrama de especies obtenido resulta de gran utilidad para la predicción de las condiciones fisicoquímicas adecuadas para conseguir mayor control en el depósito de los materiales. Usando como reactivos químicos del baño el ZnCl2 (ZnSO4), KOH, NH4NO3 y SC(NH2)2 , así como las reacciones químicas más probables entre las especies formadas por estos reactivos, un rango de temperatura de depósito (entre 25 y 90 °C) y diferentes concentraciones de los reactivos, se obtuvieron los diagramas de distribución de especies como función del pH. Usando los diagramas de especies, se realizaron depósitos usando diferentes condiciones para corroborar su importancia en la obtención de películas delgadas de ZnS, ZnO y Zn(OH)2 con alta calidad óptica y estructural. Los resultados indican que las mejores condiciones para obtener películas de alta calidad pueden cambiar con la temperatura del baño y con la concentración de los reactivos utilizados.

Palavras-chave : películas de ZnS; diagramas de distribución de especies; depósito por baño químico; condiciones fisicoquímicas; propiedades físicas.

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