Resumo

MIRELES, José; OCHOA, Humberto  e  HINOSTROZA, Víctor. Diseño y Análisis de un Capacitor Variable MEMS utilizando Actuadores Térmicos. Comp. y Sist. [online]. 2006, vol.10, n.1, pp.3-14. ISSN 2007-9737.

En éste trabajo presentamos el diseño con tecnologías MEMS y análisis de un capacitor variable acoplado a actuadores térmicos. El capacitor variable está compuesto por dos componentes importantes: 1) el capacitor construído de dos capas cuadradas paralelas, en donde una placa está mecánicamente fija al sustrato y la otra es una placa movible la cual tiene resortes flexibles conectados de cada esquina de la placa al substrato, y 2) un arreglo de actuadores térmicos que separan la placa movible del substrato. Dependiendo de la potencia aplicada a los actuadores térmicos, éstos empujaran la placa variable por las secciones laterales para separar la placa del substrato, mientras que los resortes de suspensión contrarrestan la fuerza mecánica para mantener el equilibrio. Éste trabajo incluye los pasos de diseño y fabricación utilizando el proceso PolyMUMPS^TM, y proporciona tablas de los resultados obtenidos destacando la funcionabilidad de los capacitares variables. Además, se presentan los resultados obtenidos utilizando el software COVENTORWARE^TM, donde mostramos el potencial de uso del capacitor variable para la realización de compensaciones automáticas de capacitancias dinámicas para la integración al desarrollo de osciladores de frecuencia y filtros.

Palavras-chave : Diseño de MEMS; Análisis de elementos finitos de MEMS; capacitares variables; actuadores térmicos.

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