Resumen

OLAYA, J.J.; MARULANDA, D.M.; RODIL, S.E.  y  BHUSHAN, B.. Propiedades mecánicas de nitruros metálicos depositados con UBM: tecnología eficiente y ambientalmente limpia. Rev. mex. fis. [online]. 2009, vol.55, n.6, pp.425-431. ISSN 0035-001X.

El objetivo de esta investigación es estudiar la influencia de la configuración del campo magnético en un sistema de sputtering en las propiedades mecánicas de recubrimientos de CrN, TaN, TiN, NbN y ZrN. Se cuantificaron diferentes configuraciones del campo magnético a través del coeficiente de desbalanceo K_G , que es proporcional al punto de campo cero en el magnetrón. En este trabajo de depositaron películas con dos configuraciones del campo magnético, K_G =1.3 y 0.825. El efecto más importante de la configuración del campo magnético se observó en la dureza de la película. Al depositar sobre acero AISI M2 y acero 304, mejoraron las propiedades mecánicas y la resistencia al desgaste al aumentar el parámetro de energía; los valores de dureza más altos se obtuvieron para las películas de TaN, NbN y ZrN. Otra consecuencia del cambio en el campo magnético fue la variación en los esfuerzos residuales de compresión. La variación más alta se presentó en las películas de TaN mientras que las películas de CrN presentaron la menor concentración de esfuerzos.

Palabras llave : Sputtering con magnetrón desbalanceado; CrN; TaN; TiN; NbN; ZrN.

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