Abstract

REHDER, G  and  CARRENO, M.N.P. Ciliary motion in PECVD silicon carbide and silicon oxynitride microstructures. Rev. mex. fis. [online]. 2006, vol.52, suppl.2, pp.48-49. ISSN 0035-001X.

En este trabajo es presentado el desarrollo de matrices bidimensionales de microestructuras basadas en carburo de silicio amorfo hidrogenado (a-SiC:H) y oxinitruro de silicio capaces de realizar movimiento ciliar controlado. Las microestructuras son fabricadas por micromaquinado de volumen de substratos de silicio cristalino c-Si y están totalmente definidas en materiales obtenidos a bajas temperaturas por la técnica de PECVD (deposición química de la fase vapor asistida por plasma). Cromo metálico es embebido entre estos dos materials para ser utilizado como contacto y como elemento resistivo para calentar por efecto Joule. Aplicando una tensión externa de forma sincronizada a los cantilevers, se genera una corriente eléctrica, también sincronizada, que calentará las estructuras por efecto Joule y por causa de la expansión térmica producirá el movimiento ciliar.

Keywords : MEMS; carburo de silício; efecto Joule.

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