Abstract

ROJAS H., A.G. et al. Diseño de una superficie cónica en silicio cristalino. Rev. mex. fis. [online]. 2005, vol.51, n.6, pp.620-625. ISSN 0035-001X.

Presentamos el diseño de fabricación de una superficie cónica con k = -6.5. En un sustrato de silicio monocristalino, tomando como base la técnica de grabado anisotrópico con KOH. La superficie cónica es aproximada mediante ventanas esféricas. Comparaciones entre diámetro y separación de las ventanas esféricas, así como los parámetros que rigen la elección son discutidos.

Keywords : Dispositivos optoelectrónicos; micromaquinado en microelectrónica; espejos ópticos.

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