Abstract

COLE, M.W.  and  GEYER, R.G.. Novel tunable acceptor doped BST thin films for high quality tunable microwave devices. Rev. mex. fis. [online]. 2004, vol.50, n.3, pp.232-238. ISSN 0035-001X.

Se reportan las propiedades de láminas delgadas de Ba_0.6.Sr_0.4TiO₃ (BST) puro y dopado con bajas concentraciones de Mg. Las láminas fueron obtenidas sobre monocristales (100) MgO y sustratos de Si cubiertos de Pt, por deposición de solución metalorgánica (MOSD) usando precursores de carboxilato-alkóxido y recocido post-deposición a 800°C (sustratos lamina/MgO) y 750°C (sustratos lámna/Pt-Si). Las propiedades dieléctricas fueron medidas a 10 GHz usando láminas no-empatronadas/no-metalizadas por sintonía de un sistema dieléctrico resonante de acople/desacople y a 100 kHz mediante capacitores metal-aislante-metal. La estructura, microestructura, morfología y composición de los sistemas lámina/sustrato fueron analizadas y correlacionadas con las propiedades dieléctricas y aislantes de las láminas. Las láminas BST dopadas con Mg exhibieron mejores características de aislamiento y pérdidas dieléctricas que las láminas de BST puras. La mejora en propiedades dieléctricas, baja corriente de pérdida y buena sintonizabilidad de las láminas con bajo dopaje de Mg amerita su utilización potencial para dispositivos de sintonía de microondas.

Keywords : Dispositivos de sintonía de microondas; películas delgadas; microestructura.

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