Investigación

 

Diseño de una superficie cónica en silicio cristalino

 

A.G. Rojas H., F. Renero C., W. Calleja A., R. Pérez R.,O. Totolhua P. y F. Gracia T.

 

Instituto Nacional de Astrofísica Óptica y Electrónica, Apartado postal 51 y 216, 72000 Puebla, Méx, e-mail: agrojas@inaoep.mx, paco@inaoep.mx, wcalleja@inaoep.mx, raperez@inaoep.mx, ototolhua@inaoep.mx, temich@inaoep.mx.

 

Recibido el 4 de mayo de 2005.
Aceptado el 5 de octubre de 2005.

 

Resumen

Presentamos el diseño de fabricación de una superficie cónica con k = —6.5. En un sustrato de silicio monocristalino, tomando como base la técnica de grabado anisotrópico con KOH. La superficie cónica es aproximada mediante ventanas esféricas. Comparaciones entre diámetro y separación de las ventanas esféricas, así como los parámetros que rigen la elección son discutidos.

Descriptores: Dispositivos optoelectrónicos; micromaquinado en microelectrónica; espejos ópticos.

 

Abstract

A fabrication design of a conic surface (k = —6.5), in monocrystalline silicon substrate and based on anisotropic etching with KOH, is presented. The conical surface is approximated by means of spherical windows; comparisons between diameter and separation of the spherical windows, as well as the parameters that govern the selection are discussed.

Keywords: Optoelectronic devices; micromachining in microelectronics; optical mirrors.

 

PACS: 85.60.q; 85.40.Hp; 42.79.Bh

 

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Agradecimientos

Este trabajo fue realizado mediante el proyecto CONACyT 34139A. Armando Gregorio Rojas Hernández (becario de Conacyt), agradece el apoyo económico a CONACyT por medio de Beca-Crédito 136575. Los autores agradecen a Ana María Zarate, Gabriela Molar Velázquez y Edgar Méndez Martínez por sus comentarios y sugerencias; y al INAOE por facilitar sus instalaciones e infraestructura.

 

Referencias

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