Investigación

 

Propiedades eléctricas, ópticas y estructurales de películas delgadas de SnO₂ nanoestructuradas, depositadas a partir de acetilacetonatos

 

R. Vázquez Arreguínª, M.A. Aguilar Frutisª, J. Guzman Mendozaª, M. García Hipólito^b, R. Fragoso–Soriano^c , C. Falcony Guajardo^c

 

^a Centro de Investigación en Ciencia Aplicada y Tecnología Avanzada del Instituto Politécnico Nacional, Legaria 694. Colonia Irrigación, México, D.F., 11500, México.

^b Instituto de Investigación en Materiales, Universidad Nacional Autónoma de México, Apartado Postal 60–360, Coyoacán, México, D.F., 04510, México.

^c Centro de Investigación y de Estudios Avanzados del Instituto Politécnico Nacional, Apartado Postal 14–740, México, D.F., 07000, México, e–mail: ksouze@prodigy.net.mx

 

Recibido el 18 de octubre de 2010
Aceptado el 24 de enero de 2011

 

Resumen

Películas delgadas de oxido de estaño (S11O₂). Fueron depositadas mediante la técnica de rocío pirolítico ultrasonico. Las películas se depositaron sobre substratos de vidrio empleando dicloruro de acetilacetonato de estaño [(C₅H₈O₂)₂SnCl₂] como material fuente y N, N–DMF como solvente, a temperaturas de 400 a 550° C. Se presentan las propiedades ópticas, eléctricas y estructurales de las películas obtenidas utilizando un precursor organometálico.

Descriptores: Películas delgadas; películas conductoras transparentes; procesos pirolíticos.

 

Abstract

Tin oxide (SnO₂) thin films, were deposited using ultrasonic spray pyrolysis technique. The films were deposited on glass substrates using tin acetylacetone dichloride [(C₅H₈O₂)₂SnCl₂], as raw material, and, N, N–DMF as solvent, at temperatures from 400 to 550°C. The optical, electric and structural properties of thin films obtained using an organometalic precursor are presented.

Keywords: Thin films; transparent conductor layer.

 

PACS:78.20.–e;81.40.Tv

 

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Agradecimientos

Los autores desean agradecer al Conacyt por financiamiento de proyecto # 129227, a la SIP–IPN por proyecto 20101556 y a la Q. Marcela Guerrero su ayuda en la obtención de los patrones de difracción de rayos X.

 

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