Resumo

CASTRO-COLIN, M et al. Multipactor suppressing titanium nitride thin films analyzed through XPS and AES. Rev. mex. fis. [online]. 2008, vol.54, suppl.1, pp.36-41. ISSN 0035-001X.

Películas de nitruro de titanio fueron depositadas utilizando un método magnetrón-catódico sobre sustratos de aluminio anodizado y estudiadas via AES así como XPS, para determinar la composición de las películas en función del grosor. Como es sabido, el óxido natural que crece sobre aluminio es susceptible al daño por radio frecuencias, de modo que es necesario suprimir tal daño por medio de un recubrimiento. En este artículo presentamos el perfil de composición de películas de nitruro de titanio, utilizadas como recubrimiento protector de aluminio, estudiadas tras la aplicación de etapas sucesivas de sputtering; las películas fueron previamente anodizadas.

Palavras-chave : Películas delgadas; deposición via magnetrón; multipactor; XPS; AES; anodización.

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