Investigación

 

Confocal profiling of grooves and ridges with circular section using the divided aperture technique

 

J.F. Aguilar

 

Instituto Nacional de Astrofísica Óptica y Electrónica, Luis Enrique Erro No. 1, Sta. Ma. Tonantzintla, Puebla 72840, Pue., México.

 

Recibido el 1 de marzo de 2005.
Aceptado el 25 de mayo de 2005.

 

Abstract

The divided-pupil technique for the simulation of confocal imaging is applied to remove those artifacts appearing due to the symmetry of the object. A rigorous treatment is used to model the imaging system which is a two-dimensional confocal microscope, working in reflection mode. Since the geometry of the associated electromagnetic problem is 2-D, the objects analyzed are highly symmetric and cylindrical. The advantages and limitations of this technique are discussed and shown by means of examples.

Keywords: Confocal microscopy; light scattering; optical profilometry.

 

Resumen

La técnica de pupila dividida se aplica en la simulación de un sistema confocal formador de imágenes para eliminar elementos espurios debidos a la simetría del objeto. Un tratamiento riguroso es usado para modelar la formación de imágenes en el sistema el cual es un microscopio confocal en dos dimensiones; los objetos analizados son altamente simétricos y cilíndricos. Las ventajas y limitaciones de esta técnica son discutidas y demostradas por medio de ejemplos.

Descriptores: Microscopía confocal; esparcimiento de luz; perfilometría óptica.

 

PACS: 42.25.Fx; 42.30.Va

 

DESCARGAR ARTÍCULO EN FORMATO PDF

 

Acknowledgment

This work has been supported by CONACyT through the project 37654-E.

 

References

1. D.K. Hamilton, Opt. Lett. 6 (1981) 625.         [ Links ]

2. D.K. Hamilton and T. Wilson, Appl. Phys. B 27 (1982) 211.         [ Links ]

3. C.J.R. Sheppard, T.J. Connolly, and M. Gu, J. Mod. Opt. 40 (1995) 2407.         [ Links ]

4. C.J.R. Sheppard, A.R. Carlini, and H.J. Matthews, Optik 80 (1988) 91.         [ Links ]

5. J.T. Sheridan and C.J.R. Sheppard, Opt. Commun. 105 (1994) 367.         [ Links ]

6. J.F. Aguilar and E.R. Méndez, J. Mod. Opt. 42 (1995) 1785.         [ Links ]

7. W. Weise, P. Zinin, T. Wilson, A. Briggs, and S. Boseck, Opt. Lett. 21 (1996) 1800.         [ Links ]

8. J.F. Aguilar, M. Lera, and C.J.R. Sheppard, Appl. Opt. 39 (2000) 4621.         [ Links ]

9. D.M. Maurice, Experientia 15 (1968) 1094.         [ Links ]

10. C.J. Koester, Appl. Opt. 19 (1980) 1749.         [ Links ]

11. C.J.R. Sheppard and D.K. Hamilton, Appl. Opt. 22 (1983) 886.         [ Links ]

12. P. Török, C.J.R. Sheppard, and Z. Laczik, Optik 103 (1996) 101.         [ Links ]

13. P. Török, Z. Laczik, and C.J.R. Sheppard, Appl. Opt. 35 (1996) 6732.         [ Links ]

14. C.J.R. Sheppard and H.J. Matthews, J. Opt. Soc. Am. A 4 (1987) 1354.         [ Links ]

15. B. Richards and E. Wolf, Proc. Roy. Soc. A 253 (1979) 358.         [ Links ]

16. M. Born and E. Wolf, Principles of Optics 6^th Ed. (Pergamon, Oxford, 1980).         [ Links ]

17. K.K. Miei and J.G. Van Bladel, IEEE Trans. Antennas. Propag. AP-11 (1963) 185.         [ Links ]

18. C.H. Papas, J. Appl. Phys. 21 (1950) 318.         [ Links ]

19. A.A. Maradudin, T. Michel, A.R. McGurn, and E.R. Méndez, Ann. Phys. 203 (1990) 209.         [ Links ]

20. J. Felix Aguilar and E.R. Mendez, Proc. SPIE 1926 (1993) 18.         [ Links ]

21. J. Felix Aguilar and E.R. Mendez, J. Opt. Tech. 69 (2002) 422.         [ Links ]

22. T. Wilson and C.J.R. Sheppard, Theory and Practice of Scanning Optical Microscopy (Academic, London, 1984).         [ Links ]