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ALVAREZ-MACIAS, C. [Author]
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Álvarez-Macías, C. et al.
Estructura y morfología de películas de pm-Si:H crecidas por PECVD variando la dilución de diclorosilano con hidrógeno y la presión de trabajo
.
Rev. mex. fis.
, Jun 2011, vol.57, no.3, p.224-231. ISSN 0035-001X
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Álvarez-Macías, C. and Reyes-Betanzo, C.
Procesos de grabado seco de silicio monocristalino con alta velocidad de grabado y anisotropía para su aplicación en la fabricación de MEMS
.
Rev. mex. fis.
, Dic 2007, vol.53, no.6, p.488-494. ISSN 0035-001X
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