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ACEVES-MIJARES, M. [Autor]
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Luna-López, J. A. et al.
FTIR and photoluminescence of annealed silicon rich oxide films
.
Superf. vacío
, Mar 2009, vol.22, no.1, p.11-14. ISSN 1665-3521
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Leal-Romero, R. et al.
Proceso de grabado seco de silicio monocristalino para aplicaciones en guías de onda coplanares
.
Rev. mex. fis.
, Feb 2010, vol.56, no.1, p.92-96. ISSN 0035-001X
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